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マイクロ波帯における複素誘電率測定用標準物質 (ER-ZST)

標準物質
直径が等しく、一方の高さが他方の高さの3倍に等しい誘電特性の揃った一組の(Zr,Sn)TiOセラミックス円柱。
5GHz用が用意されています。(10GHz用については現在開発中です。)

特徴
一対の試料間の誘電正接(tanδ)の差が2×10-6以下になっています。
被測定用導体板の表面粗さ、酸化状態を反映した実効導電率を2%以内の不確かさで決定できます。
マイクロ波帯域における低損失誘電体材料の比誘電率、誘電正接の高精度評価が可能となります。
測定装置の精度校正に有効です。

標準物質の外観
5GHz用 10GHz用(開発中)

※本品は、埼玉大学小林禧夫教授の協力を得て開発したものです。


測定原理
マイクロ波用ファインセラミックスの誘電特性の試験方法(JIS R1627-1996)により誘電体共振器法で行います。片面が鏡面研磨された2枚の被測定用導体板を用意します。標準物質の両端面を2枚の導体板で挟んでTE011モード(a)、及びTE013モード(b)の誘電体共振器を構成します。それぞれの共振周波数及び無負荷Qの測定値より被測定用導体板の実効導電率を決定します。詳細はテクニカルレポートを参照して下さい。

標準物質の仕様
材料 (Zr,Sn)TiO
共振周波数 f0 5GHz
寸法 TE011モード 直径 φ14mm 長さ6.46mm
TE013モード 直径 φ14mm 長さ19.38mm
誘電正接 tanδ 10×10-4以下
2モード間のtanδの差 △tanδ 10×10-6以下
比誘電率 ε' 39±1.0
2モード間のε'の差 △ε' 0.4以下
2モード間のf0の差  △f0 30MHz以下
f0の温度係数 TCF 0±2ppm/k
直角度 90±0.2°
表面粗さ Ra 0.9μm以下
※使用温度範囲:25±10(℃)

標準物質の物理的特性(参考値)
吸水率 0.01%以下
絶縁抵抗 1×1011(Ωm)以上
線膨脹係数 6.5(ppm/k)
熱伝導率 1.9(W/mk)
比熱 630(J/kgk)
密度 5100(kg/m3
Vickers硬度 900
曲げ強さ 98(Mpa)

※ 本品は(株)村田製作所に製造委託したものです。
頒布価格 【5GHz用】 170,000円/セット
※料金には消費税を含みません


参考資料
テクニカルレポート TR-ER-ZST
マイクロ波帯における複素誘電マニュアルと標準物質(ER-ZST)の特性
 ●測定マニュアル(原理、装置、治具、手順など)
 ●標準物質の詳細(必要性、安定性、ばらつきの評価など)
頒布価格/20,000円
※料金には消費税を含みません


→ 標準物質申込書(PDF/22kバイト)
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