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2011-3

熱線反射のためのZnO透明導電膜への効果的なAl添加


技術のポイント

ZnO:Al透明導電膜の熱線(近赤外光)反射性を高めるために多元反応性スパッタリングによりAlを効果的に添加

応用研究


背景
透明性と導電性をもつZnO:Al膜は、近赤外線(熱線)を反射する遮熱膜としても期待され、さらなる反射性能の向上が求められている。

目的
近赤外光に対するZnO:Al膜の反射性能を高める。
  ⇒ プラズマ波長の短波長側(可視光側)へのシフト+吸収の低減

成果
ZnO:Al透明導電膜における熱線反射を向上させた    
 Zn, Alターゲット表面を遷移領域(酸化物⇔金属)で制御
  ⇒ 効果的なAl添加に伴うキャリア放出効率アップにより近赤外反射





今後の展開
・膜構造設計との融合による遮熱性能向上
・耐久性(耐湿性)の評価
可視光透明性・遮熱性能に優れる
膜の応用展開

参考文献 Y. Okuhara, T. Kato, H. Matsubara, N. Isu and M. Takata: Thin Solid Films,519,2280(2011).
特願2009-050707 「断熱ガラスとその製造方法」
謝辞 この成果は、独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)
「マルチセラミックス膜新断熱材料の開発」の委託業務の結果得られたものである。



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