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2011-3

Bサイト置換型鉄系ペロブスカイト酸化物のガラス研磨特性


技術のポイント

鉄の価数変化が制御可能であるペロブスカイト酸化物に着目し、ガラス研磨特性を向上させる

基礎研究


背景
セリア系砥粒によるガラス研磨時には、Ce3+/Ce4+の価数変化が関与すると考えられている。供給体制不安が指摘されているセリア系砥粒の代替として、Fe3+/Fe4+の価数変化が制御可能な鉄系ペロブスカイト酸化物(SrFeOx)に注目している。

目的
SrFeOxのFeの一部をCoに置換することによって、Feの価数を制御した砥粒を作製し、研磨特性を評価する。

成果
(1) CoのBサイト置換は、ガラスの研磨特性に影響を与えること明確化。
(2) 既存砥粒と比べ、研磨速度は及ばないものの、優れた表面平滑性を示す。


・砥粒合成:噴霧熱分解法  
・研磨対象:LCD用(アルミノホウ珪酸)ガラス

図1. 噴霧熱分解法により作製した砥粒のSEM像 図2. Co添加量と研磨特性の関係



今後の展開
研磨に作用するFeに最適な置換
元素の検討および劣化挙動の評価
セリウムフリー 代替砥粒の実現

特願2010-276213 「研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法」
謝辞 この成果は、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属 代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものである。



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