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2012-4

ガラス精密研磨における砥粒スラリーの劣化メカニズム解明


技術のポイント

ガラス研磨速度の経時変化を定量的に評価

基礎研究


背景
ガラス精密研磨において、砥粒を含むスラリーは通常循環させて使用する。研磨時間の経過に伴う研磨速度の低下は経験的に知られているが、砥粒スラリーの劣化メカニズムは未だ解明されていない。

目的
セリア系砥粒スラリーの劣化挙動に着目し、ガラス研磨速度の経時変化を定量的に評価し、劣化要因を明らかにする。

成果
(1) スラリーのみの経時変化を正確に評価する研磨装置を開発。(図1)
(2) 劣化プロファイルは、研磨速度の低下が緩やかな領域気函急激に低下する領域兇紡臺未気譴襦(図2a)
(3) 研磨されたガラス成分が砥粒を覆うことによって、基板との化学反応を阻害し、研磨速度の急激な低下が起こることを示唆。(図2b)


・砥粒:市販セリア系
・研磨対象:LCD用(アルミノホウ珪酸)ガラス
図2. 市販セリア系砥粒の寿命評価結果
図1. 開発した砥粒劣化評価装置



今後の展開
砥粒と溶媒それぞれの劣化要因の特定と
劣化抑制技術の開発
スラリーの長寿命化
および使用量低減化

謝辞 本研究は、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)「希少金属代替材料開発プロジェクト」の委託業務の結果得られたものです。



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