研究開発分野 JFCC Home Link Site Map English
受託研究 試験評価 機器利用 技術相談 標準物質 賛助会員
センター紹介 研究開発 材料技術研究所 ナノ構造研究所 広報活動 アクセスマップ


微構造解析・計算材料設計 研究開発トップへ この分野の一覧へ 2013年度の一覧へ

2013-11

収差補正モノクロメータSTEMによる高エネルギー分解能EELS測定


技術のポイント

モノクロメータ装備収差補正STEMにより、高空間分解能・高エネルギー分解能EELS測定が可能

基礎研究


背景
各種材料の解析・状態分析にエネルギー損失分光分析(EELS)が不可欠となってきている。本装置は収差補正装置とモノクロメータを装備し、空間・エネルギー分解能を両立した測定を可能とした。

目的
軽元素の分析、状態分析、ケミカルシフトなどの電子状態変化の高精度計測を可能とする。

成果
(1) ダブルウイーンフィルターにより最高分解能ΔE=36meV(加速電圧200kV)を達成。
(2) 加速電圧60kV、120kV、200kVを選択可能。エネルギー分解能は、スリットにより0.04〜0.3eVまで5段階。
収差補正モノクロメータSTEMとして世界最高分解能を達成


・手法:TEM・STEM EELS  
・評価:ΔE=36meVを有するEELS測定

図1. 収差補正モノクロメータSTEMの外観
図2. モノクロメータON/OFFによるゼロロスピークの変化



今後の展開
高空間分解能・高エネルギー分解能を
両立した微細構造解析により、
極微小領域での状態分析、軽元素分析を行う
新規材料開発・材料解析に貢献



研究成果トップに戻る この分野の一覧に戻る 2013年度の一覧に戻る
Copyright (c) by Japan Fine Ceramics Center All rights reserved.