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2013-2

レーザー援用高速CVDによる切削工具コーティング


技術のポイント

レーザーCVDにより、Ti(C,N)-Niサーメット上への高密着性硬質セラミックスコーティングを可能化

基礎研究


背景
WC-Co代替材料として注目されるTi(C,N)-Niサーメットは、CVDプロセスによる劣化が激しく、高品質CVDコーティングは困難と考えられている。

目的
比較的低温で成膜できるレーザーCVDを用い、サーメット基材を劣化させずにTiNコーティング、TiN/アルミナ積層コーティングを作製する。

成果
高アンモニア分圧下のレーザーCVDによって、基材劣化を抑制しながら高結晶性・柱状晶TiNを高速コーティング
中間層の導入により、TiNの酸化を抑制しながら、TiN/アルミナ積層コーティングを作製可能
得られたコーティングは、耐摩耗性に優れ、密着性も良好


図1. レーザーCVD装置
図2. サーメット上に作製した
TiNコーティング
図3. サーメット上に作製した
TiN/アルミナ積層コーティング



今後の展開
低コスト化と生産性に優れた
工業プロセスの開発
WC-Coを代替する 長寿命工具材料

謝辞:本研究はNEDO委託事業の一部として実施したものである。



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