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2014-12

収差補正モノクロメータSTEMによる高エネルギー分解能EELS測定


技術のポイント

収差補正とモノクロメータを装備したSTEMにより、原子レベルの空間分解能と高エネルギー分解能EELS測定

基礎研究


背景
収差補正装置による高分解能観察と、モノクロメータによる高エネルギー分解能を両立し、局所領域の元素分析・状態分析を可能とする。

目的
軽元素(Li、H等)の高精度元素分析、および状態分析を原子レベルで可能とする。また、半導体のバンドギャップ等の測定も可能とする。

成果
(1) モノクロメータによる高エネルギー分解能EELS(ΔE=36meV)を達成
(2) Fe添加Al2O3粒界でのバンドギャップ変化を測定。
軽元素分析および状態分析の原子レベルの解析


・手法:収差補正STEM、EELS、モノクロメータ
・評価:高エネルギー分解能EELSによる軽元素分析、バンドギャップ、状態分析
図1. 収差補正モノクロメータ
STEM:JEM-2400FCS
図2. ゼロロスのEELS
図3. Fe添加Al2O3粒界と
粒内のEELS



期待される適応分野
Li電池材料の構造・劣化解析
半導体・絶縁材料のバンドギャップ測定
局所領域の状態分析(粒界・表面)

参考文献 M. Mukai, E. Okunishi, et.al, Microsc. Microanal, 19, 1126-1127(2013)..



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