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R-6
2016

エアロゾルデポジション法により形成したアルミナ膜の集合組織評価


技術のポイント

極点測定とその後の結晶方位分布解析により、アルミナ膜の集合組織を定量評価

基礎研究


背景
エアロゾルデポジション(AD)法により形成したアルミナ膜は、表面エネルギーが小さく化学的安定性に優れる底面に優先配向する傾向にあるが、底面配向度と成膜条件の関係は明らかでない

目的
AD法により形成したアルミナ膜について、X線回折による正極点測定とその後の結晶方位分布解析により、膜の底面配向度に及ぼす成膜因子を抽出する

成果
(1) AD法を用いて形成させたアルミナ膜の底面配向度を(0001)面の体積率で定量的に評価した結果、膜厚の増加に伴い底面配向度が低下した
(2) AD成膜時の基板への粒子衝突速度を増加させることにより、(0001)面を主成分とする集合組織が形成された


α-アルミナ膜断面のTEM像
α-アルミナ膜のXRDパターン
底面配向度とAD成膜条件の関係



期待される適応分野
・耐環境性膜
・切削工具、摺動部材

参考文献 特願2014-131393 「結晶配向セラミックス積層材料及びその製造方法」
謝辞 本研究の一部は、JST-ALCA(先端的低炭素化技術開発事業)として実施したものである



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