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T-31
2019

超高分解能SEMを用いた低加速観察・分析技術


技術のポイント

低加速電圧&無蒸着にて、観察や元素分析を行うことで高加速電圧では得られなかった情報の取得が可能



保有設備

ショットキー FE-SEM
JSM-7800F PRIME(日本電子製)
・電子銃 ショットキー FE
・加速電圧 0.01〜30 kV
・減速電圧 〜5 kV
・低真空 10〜300 Pa
・長焦点観察モード
・搭載分析検出器:EDS(元素分析)、EBSD(結晶方位解析)

コールドFE-SEM SU8000(日立製)
・電子銃 コールドFE
・加速電圧 0.1〜30 kV
・減速電圧 〜2 kV
・搭載分析検出器:EDS(元素分析)
目的に合った「調製・装置・条件」にて観察・分析を実施


観察および解析事例

インクの表面の低加速電圧SEM観察


適用分野

・試料極表面の異物・析出物の観察・解析
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶粒径分布解析
・積層構造材料の断面観察および組成分布解析  等



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