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T-32
2019

積層構造体の断面SEM観察用試料調製技術


技術のポイント

積層構造体の断面SEM観察を行う際、観察の目的や分析内容によって最適な試料調製法および条件を選択



保有技術
・機械研磨(砥粒種:ダイヤモンド、コロイダルシリカ等)
・凍結割断(液体窒素)
・Arイオンミリング(CP)装置(表面、断面、冷却、大気非曝露)
試料調製対応表
割断 凍結割断 機械研磨 Ar-断面
イオンミリング
粒子形態
膜厚
EDS(元素分析) × ×
EBSD(結晶方位) × × ×
広領域加工
難易度

試料調製事例
GFRP基板の断面SEM観察結果  
Ar断面イオンミリング(CP)調製 凍結割断調製
GFおよび樹脂の分布状態や空隙等が明瞭に
観察可能。各相の面積割合や繊維径測定、
各種分析に対応可能な平坦な面を取得
GFの表面凹凸が観察可能



適用分野

・積層構造体の断面SEM観察・解析
・粉末や繊維の断面SEM観察・解析
・後方散乱電子回折(EBSD)用試料調製
・エネルギー分散型X線分析(EDS)用試料調製  等



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