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T-33
2019

EBSD法を用いた歪み解析技術


技術のポイント

後方散乱電子回折(EBSD)法により、それぞれの結晶粒の方位やずれ角の解析、結晶相分布解析、歪分布解析が可能



保有技術
・電界放出走査電子顕微鏡JSM-7800F PRIME (日本電子製)
・結晶方位解析装置Digiview V EBSD System (TSL製)
・CrossCourt 4 歪解析ソフトウェア
後方散乱電子回折(EBSD)法: 試料に照射された電子が試料内で拡散し、拡散した電子は回折され反射電子として試料から放出される。その際に生じる反射電子回折パターンを用いて局所領域の結晶方位や結晶構造を解析する手法
EBSD-Wilkinson歪み解析手法: ある測定点の菊池パターンを基準にそれ以外の測定点との比較を行い、結晶粒内の歪みを解析する手法

解析事例 〜レーザー焼結Al2O3(試料詳細はR-27)単結晶の精密歪み解析〜
通常のEBSD測定による
結晶方位および歪み解析結果
EBSD-Wilkinson法による
精密歪み解析結果
通常のEBSD法では検出困難な歪みの解析に成功



適用分野

・微小領域での結晶系解析   ・結晶相分布解析
・結晶方位分布解析      ・結晶粒径分布解析
・結晶歪分布解析



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