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T-35
2019

FIB-SEMを用いた三次元構築


技術のポイント

FIBスライス加工とSEM断面観察を連続的に行い取得した多数のSEM像から三次元構造を再構成



手法概要と解析事例(LiMn2O4粒子)
・SEM像のコントラストから
 三次元構造を再構成
・最大50 μm角領域に対応
・非曝露加工観察に対応
・非曝露冷却加工観察に対応
最新ソフトウェアを導入
 Avizo 2019.1(9.7)




適用分野

・焼結体等の空隙分布解析、内部構造の可視化
・各種粉末、電池材料、センサー材料等の空隙および粒子解析
・分散剤の三次元分布解析  など



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