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加工性評価技術:非接触表面粗さ測定


光学式顕微鏡を用いて材料表面の干渉縞を検出。得られた情報をコンピュータにより画像解析して微小領域の表面粗さを測定する。



メーカー (株) 菱化システム
測定領域(Max) 815.6×622.9μm/視野
分解能 1nm以上
検出器(非接触) 走査型単色干渉方式



Ra :算術平均粗さ 1.181
Rq :自乗平均平方根粗さ 1.488
Rp :最大山高さ 6.789
Rv :最大谷深さ 6.723
Rz :最大高さ粗さ 13.511

単位:μm

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