2011-5

高分解能走査型電子顕微鏡による表面微細構造観察

超高分解能SEMにより表面の凹凸、組成、結晶情報などを得る

走査型電子顕微鏡

[特徴]
・極低加速電圧での高分解能観察が可能　（照射電圧1kV時の分解能: 1.4nm）
・3種類の二次電子検出器を使い分けることで、凹凸、組成、結晶方位に関する情報を可視化


超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU8000（日立ハイテク製）

DVD-RWの構造

	若干の凹凸によるコントラストが認められるが、その他のコントラストは一様で、記録層（AgInSbTe合金）は均一な組成であることが分かる。
組成像（Upper 検出器）

	記録層のグルーブとランドの構造がよくわかる。
凹凸像（Lower検出器）

	白いコントラストの部分はピット（非晶質）で、これにより記録する。それ以外の部分は多結晶である。（厚さ50nmの合金層の反射電子像を得ることは非常に困難）
結晶配向像（Upper 検出器）

（例）DVD-RW記録層（厚さ50nmのAgInSbTe合金層）の観察（加速電圧800V）

　
・異物・析出物等の観察・解析
・断面構造観察
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶配向の観察

析出物の観察	非導電性材料の無蒸着観察