2013-1 |
|
|
|
電子線ホログラフィー : 電子波の干渉現象を利用して、電場や磁場を定量的に観察する透過型電子顕微鏡法 |
|
|
半導体中のドーパント分布、電池内部の電位分布、磁性体の磁束分布の観察 |
|
|
||||||||||||
|
○ 半導体デバイス ・シリコン半導体、化合物半導体(GaAsなど)のドーパント分布解析(電位分布) ○ 磁性体関係 ・磁区構造観察、動的ローレンツ顕微鏡観察、動的ホログラフィー観察 ・低温、高温、磁場印加における定量観察 ○ 全固体型リチウムイオン電池 ・充放電その場電場観察 |