2013-14

パワーデバイス・青色LED開発を支援するSiCの欠陥分析技術

SiCウエハの欠陥の多面的評価を通じてパワーデバイス・青色LEDの開発に貢献

EBIC法

特願2010-189627

欠陥の種類・三次元分布の測定
? エピ・基板界面の転位挙動
? 積層欠陥の電子に対する挙動
? 転位の電子に対する挙動

Etch pit法

特願2010-13376　特願2013-040585

転位の種類・分布・密度を同時測定
? p-n⁺⁺ SiC に適用可能
? SiCの結晶系によらず適用可能
? 0-8°オフで適用可能
? Si面・C面も可能

Raman分光法

積層欠陥・多形・ひずみの検出
? マッピング
? 温度変化その場観察
? 非破壊

FIB-TEM法

APEX (2012)081301

転位の構造決定
? 狙った転位の観察
? バーガースベクトルの決定
? 転位の進展方向の観察

PL法

積層欠陥・多形・転位・歪みの検出
? 深さ方向分布
? 表面敏感

　
○ SiCパワーデバイスおよびGaN-LED開発
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