2015-21

超高真空中破壊試験による材料組織内在ガスの質量分

10^-7Pa以下の超高真空下での曲げおよび引張試験を行い、試料から放出される微量ガスを四重極質量分析計により分析

破壊ガス分析装置

◆ 材料中に残留する極微量なガスの評価が可能
◆ 材料合成プロセスの課題解決または最適条件設定

試験機本体

真空チャンバー内部

曲げ試験治具（6連）


Si3N4荷重、全圧(真空度)変化	Si₃N₄破断時に放出されたガスの質量分析チャート

上：相対密度 97%以上
中：1500℃10時間保持後
下：同100時間保持後

組織内に高圧で残留していた気体が
高温で拡散、集積し気孔を形成した
と推察される

残留気体の圧力は1.7 - 2.3MPaに
達すると推測される

Al₂O₃、ZrO₂系セラミックス焼結体
（各質量数のピーク時間変化　N₂、Ar検出）

高温保持により緻密体内部に気孔が発生する例

松本ら,日本金属学会誌,64(10),851-856(2000).

松本峰明ら,日本金属学会誌,第64巻第10号(2000)851-856.

各種セラミックス、金属、複合材料等の組織内残留ガス分析と合成プロセス条件との関係（焼結、鋳造等）