 |
 |
 |
 |
|
 |
| 2015-26 |  |
|
 |
 |
 |
|
 |
|
 |
 |
 |
|
| 加速電圧5.0 kV | 加速電圧1.0 kV | 加速電圧0.5 kV |
 |
 |
 |
| チャージアップ等の影響により 試料表面の観察不可 |
試料表面の形状や傷、ゴミ等の観察が可能 | 加速電圧1.0 kVでは確認できなかった 微細な表面形状(黄色破線)の観察が可能 |
 |
 |
| ・異物・析出物の観察・解析 ・非導電性材料の表面微細構造観察 ・結晶粒径分布解析 ・積層構造材料の断面観察および組成分布解析 等 |
 |
 |
 |
 |