T-28
2016

電子線ホログラフィーを用いた電子材料、磁性材料の定量観察

機能材料の電場や磁場を直接かつ定量的に観察、計測

ホログラフィー電子顕微鏡

電子線ホログラフィー ：電子波の干渉現象を利用して、電場や磁場を定量的に観察する透過型電子顕微鏡法

HF3300EH

透過型電子顕微鏡
●加速電圧：300 kV
●空間分解能：0.24 nm
●輝度：2.9x10⁹ A/cm²sr
●冷却ホルダー
●高温加熱ホルダー
●磁場印加装置
●ピエゾ駆動ホルダー
●雰囲気遮断ホルダー

JEM3000F

透過型電子顕微鏡
●加速電圧：300 kV
●空間分解能：0.17 nm
●輝度：7.0x10⁸ A/cm²sr
●高温加熱ホルダー
●電圧印加ホルダー
●ピエゾ駆動ホルダー

半導体中のドーパント分布、電池内部の電位分布、磁性体の磁束分布の観察

電界効果トランジスタ内部の(a) TEM像と(b)電位分布


ナノメートルサイズの隕石粒子の(a)TEM像，(b)磁束分布像

全固体Liイオン電池、負極／固体電解質界面近傍の
(a)TEM像，(b)電位分布，
(c)Li濃度分布（EELS分析結果）

・半導体デバイス	：シリコン系半導体（SiCなど）、化合物半導体（GaAs，GaNなど）の電位分布解析
・全固体電池	：電圧印加技術による充放電中のその場観察
・磁性材料	：磁区構造観察、動的ローレンツ顕微鏡観察、動的ホログラフィー観察