T-6
2017

電子ビームPVD法によるコーティング技術

電子ビームPVD（国内唯一の大型装置）により、様々な基材に高速でセラミックスコーティングが可能

電子ビームPVD装置

電子ビーム(EB)-PVDは蒸着原料を電子ビームで直接加熱･蒸発させることにより、従来技術では困難であった高融点セラミックスの高速成膜が可能なコーティング方法

電子ビームPVD装置

① ジルコニア等の高融点酸化物セラミックスを
　 1分間に数μmの堆積速度でコーティング可能

② 成膜パラメータを精密に制御することにより膜厚や
　構造を精密制御可能

EB-PVDによる
遮熱コーティング(TBC)システム

EB-PVDによるコーティングの模式図

特異な多孔構造が低熱伝導化
　　　　　熱膨張係数差の緩和
　　　　　比表面積の増加・・・などに効果的

EB-PVDによるY₂O₃膜、TiO₂膜
（その他各種酸化物膜が可能）

○ 耐熱･耐環境分野　・ガスタービン用遮熱コーティング
○ 高温機能性分野　・電極　・触媒　・センサー
○ その他　・透明導電膜　・光学膜　・半導体膜