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2014-1 | ![]() |
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・試料: 電子ビームPVD法により堆積したイットリア安定化ジルコニア膜 ・評価: 走査電子顕微鏡による膜厚・膜構造観察 |
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図1. 蒸着源直上からの距離が膜厚に及ぼす影響 |
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図2. 鋭角凸形状基材における膜厚分布 |
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