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2013-2 | ![]() |
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・SiC試料:市販ウエハ、n≈1×1019 cm-3,8oオフ ・エッチング条件:温度900-1050℃、5-20分、N2ガス流量:1L/min ・観察:レーザー光学顕微鏡、SEM、AFM等 |
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2013年度
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2013-2 | ![]() |
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・SiC試料:市販ウエハ、n≈1×1019 cm-3,8oオフ ・エッチング条件:温度900-1050℃、5-20分、N2ガス流量:1L/min ・観察:レーザー光学顕微鏡、SEM、AFM等 |
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