2013-2

レーザー援用高速CVDによる切削工具コーティング

レーザーCVDにより、Ti(C,N)-Niサーメット上への高密着性硬質セラミックスコーティングを可能化

WC-Co代替材料として注目されるTi(C,N)-Niサーメットは、CVDプロセスによる劣化が激しく、高品質CVDコーティングは困難と考えられている。

比較的低温で成膜できるレーザーCVDを用い、サーメット基材を劣化させずにTiNコーティング、TiN/アルミナ積層コーティングを作製する。

・	高アンモニア分圧下のレーザーCVDによって、基材劣化を抑制しながら高結晶性・柱状晶TiNを高速コーティング
・	中間層の導入により、TiNの酸化を抑制しながら、TiN/アルミナ積層コーティングを作製可能
・	得られたコーティングは、耐摩耗性に優れ、密着性も良好

図1. レーザーCVD装置

図2. サーメット上に作製した
TiNコーティング

図3. サーメット上に作製した
TiN/アルミナ積層コーティング

低コスト化と生産性に優れた
工業プロセスの開発

WC-Coを代替する　長寿命工具材料

謝辞：本研究はNEDO委託事業の一部として実施したものである。