2013-7

走査型電子顕微鏡(SEM)による太陽光パネル観察事例

SEM観察およびエネルギー分散型X線分析(EDS)を用いた構造解析

・高分解能電界放出形走査型電子顕微鏡　SU-8000
・エネルギー分散型X線分析装置　 XFlash Detector 5030

太陽光パネルのSEMおよびEDS分析による構造解析例


図1. Si層表面SEM像(テクスチャ構造)


図2. 太陽光パネルの断面SEM像


図3. EDS分析結果

図4. EDS線分析結果
(断面SEM像の上部～下部領域)

●異物・析出物の観察・解析
●非導電性材料の表面微細構造観察
●結晶粒径分布解析
●積層構造材料の断面観察および組成分布解析　　等