![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
2015-3 | ![]() |
|
![]() |
![]() |
|
|
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
・ 手法:高温KCl+KOH混合溶融液エッチング ・ 評価:基板上のエピ膜作製、エピ膜の欠陥検出KNエッチング、AFM評価、レーザー顕微鏡観察 |
|
|
![]() |
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
2015年度
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
2015-3 | ![]() |
|
![]() |
![]() |
|
|
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
・ 手法:高温KCl+KOH混合溶融液エッチング ・ 評価:基板上のエピ膜作製、エピ膜の欠陥検出KNエッチング、AFM評価、レーザー顕微鏡観察 |
|
|
![]() |
![]() |
|
![]() |
|
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |