R-3
2017

AD法によるアルミナ膜の集合組織形成

AD法における成膜条件と形成される膜の集合組織の関係を評価解析

エアロゾルデポジション（AD）法により形成したアルミナ膜の集合組織形態と成膜条件の関係は明らかでない

AD法により形成したアルミナ膜について、X線回折による正極点測定とその後の結晶方位分布解析により、集合組織形成に及ぼす成膜因子を抽出した

(1)	成膜時の原料粒子噴射速度を増加することにより、（0001）面及び（1014）面の二重繊維集合組織が形成され、双晶変形及び劈開破壊が膜形成に関与していることを確認
(2)	底面配向度の高い集合組織を形成させるには、基板加熱なしで噴射速度を低速にすることが有効

AD装置

（0001）極点図

・耐環境性膜　　・切削工具、摺動部発

参考文献／特許

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M. Tanaka, et al., J. Euro. Ceram. Soc., in press.
特開2015-045085

謝辞

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本研究の一部は、JST-ALCA(先端的低炭素化技術開発事業)として実施したものである