2試験評価技術／プロセス・加工

T-4

2020

電子ビームPVDによる先進コーティング技術

技術のポイント

電子ビームPVD（国内唯一の大型装置）により、様々な基材に高速でセラミックスコーティングが可能

保有技術

電子ビーム(EB)-PVDは蒸着原料を電子ビームで直接加熱･蒸発させることにより、従来技術では困難であった高融点セラミックスの高速成膜が可能なコーティング方法

電子ビームPVD装置

ダブル電子ビームPVD装置

活用／成果例

電子ビームPVDによるコーティング
耐環境性に優れる緻密膜から、耐熱サイクル性、遮熱性に優れる多孔質セグメント構造膜までの微細構造制御が可能

適用分野

・耐熱耐環境分野：ガスタービン用遮熱コーティング
・高温機能性分野：電極、触媒、センサー
・その他：透明導電膜　光学膜など