8試験評価技術 ／ 微構造解析
T-36
2020
超高分解能走査電子顕微鏡(SEM)を用いた低加速観察・分析技術
技術のポイント
低加速電圧＆無蒸着にて、観察や元素分析を行うことで高加速電圧では得られなかった情報の取得が可能
保有技術
インレンズショットキーPlus FE-SEM
JSM-7800F PRIME(日本電子製)
・電子銃：インレンズショットキー Plus FE
・加速電圧：0.01～30 kV
・減速電圧：～5 kV
・低真空：10～300 Pa
・長焦点観察モード
・搭載分析検出器：EDS(元素分析)、
EBSD(結晶方位解析)
コールド FE-SEM SU8000(日立製)
・電子銃：コールド FE
・加速電圧：0.1～30 kV
・減速電圧：～2 kV
・搭載分析検出器：EDS(元素分析)
目的に合った「調製・装置・条件」にて観察・分析を実施
観察および解析事例
インクの表面の低加速電圧SEM観察
●顔料：数十nm程度の粒子
■バインダー：顔料を覆う樹脂膜。数～数十nmの厚みで形成
最適加速電圧より高い：
インク最表面情報が埋没し、インク内の顔料を覆う数nmの厚みのバインダー観察が困難。顔料が露出していると誤認識する危険あり
最適加速電圧：
試料内への電子線侵入深さを数nmに制限しインク内の顔料を覆うバインダーの表面観察に成功
適用分野
・試料極表面の異物や析出物の観察、解析
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶粒径分布解析
・積層構造材料の断面観察および組成分布解析 等