8試験評価技術／微構造解析

T-37

2020

EBSD法を用いた微細領域高精度歪み解析技術

技術のポイント

EBSD-Wilkinson法は、EBSD-KAMによる歪み解析では検出が困難である微小な歪みを検出することが可能

保有技術

・電解放出走査電子顕微鏡　JSM-7800F PRIME（日本電子製）
・結晶方位解析装置　Digiview V EBSD System（TSL製）
・CrossCourt 4 歪解析ソフトウェア

後方散乱電子回折（EBSD）法：試料に照射された電子が試料内で拡散し、拡散した電子は回折され反射電子として試料から放出される。その際に生じる反射電子回折パターンを用いて局所領域の結晶方位や結晶構造を解析する手法

EBSD-Wilkinson歪み解析手法：ある測定点の菊池パターンを基準にそれ以外の測定点との比較を行い、結晶粒内の歪みを解析する手法

解析事例　～GaNウェハーの加工影響領域評価解析～

通常のEBSD法では検出困難な微小歪みの解析に成功

適用分野

・微小領域での結晶系解析

・結晶相分布解析

・結晶方位分布解析

・結晶粒径分布解析

・結晶歪分布解析