7試験評価技術 / 微構造
T-40
2021
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FIB-SEMを用いた3次元構築
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技術のポイント
FIB-SEM像と最新材料科学向けソフトウェアAvizoとの連携による高精度3次元情報の提供
手法概要と解析事例
![](t21img/t40a.jpg)
![](t21img/t40b.jpg)
SEM像のコントラストから3次元化
最大50 μm角領域に対応
他の手法と組み合わせてマルチスケール評価
SOFCモデル電極の3次元解析事例
![](t21img/t40c.jpg)
LiMn2O4粒子の3次元解析事例
![](t21img/t40d.jpg)
SOEC長期評価(3,000時間)後試料の3次元解析事例
![](t21img/t40e.jpg)
◆ 最新ソフトウェアAvizo 2020.3で様々なパラメータを抽出
体積、表面積、界面の面積/長さ、空隙の数、平均径、分布etc
適用分野
電池材料、粉末、各種焼結体における構造、体積、表面積、空隙、空隙のつながり、粒子径などの3次元評価
謝 辞:本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)からの委託業務で実施したものです。