7試験評価技術 ／ 微構造
T-43
2021
電子線ホログラフィーによる半導体、磁性体、電池材料の観察
技術のポイント
機能性材料（半導体、磁性体、電池等）内部の電位分布や磁束分布を定量的に観察、in situ/operando 観察も可能
保有技術
ホログラフィー電子顕微鏡
電圧印加用TEM試料作製技術と特殊TEMホルダー
・デバイスへの電圧印加を可能にする特殊なTEM試料作製技術を保有
・TEM内でデバイスを動作させながら、in situ/operando観察可能
・磁場印加、光照射、加熱、冷却中の電磁場変化も観察可能
・Li濃度変化も電子エネルギー損失分光法を用いて観察可能
活用／成果例
半導体への応用
ホログラフィーで電位の変化を観察
S.Anada et al., J. Appl. Phys., 122 (2017) 225702.
磁性体への応用
磁束分布を可視化
Y.Kimura et al., Nat. Commun. (2013)
電池材料への応用
Y.Nomura et al., Nat. Commun. (2020)
適用分野
・GaAs、GaN、SiC、酸化物半導体内部の電位分布観察や動作時の直接評価
・磁性体内部の磁束分布観察や磁場印加時の直接評価
・電池材料の電位分布観察、Li濃度分布観察や充放電時の直接評価