6試験評価技術 ／ 微構造解析
T-36
2022
超高分解能走査電子顕微鏡（SEM）を用いた低加速観察・分析技術
技術のポイント
低加速電圧でも高分解能な次世代SEM
従来の高加速度電圧では得られなかった微構造情報を提供
保有装置
インレンズショットキーPlus FE-SEM
JSM-7800F PRIME（日本電子製）
・電子銃 ：インレンズショットキー Plus FE
・加速電圧：0.01～30 kV
・減速電圧：～5 kV
・低真空 ：10～300 Pa
・長焦点観察モード
・搭載分析検出器：EDS（元素分析）、
EBSD（結晶方位解析）
コールド FE-SEM SU8000
（日立製）
・電子銃 ：コールド FE
・加速電圧：0.1～30 kV
・減速電圧：～2 kV
・搭載分析検出器：EDS（元素分析）
目的に合った「調製・装置・条件」にて観察・分析を実施
活用／成果例
インクの表面の低加速電圧SEM観察
●顔料：数十nm程度の粒子
■バインダー：顔料を覆う樹脂膜。数～数十nmの厚みで形成
最適加速電圧より高い：
インク最表面情報が埋没し、インク内の顔料を覆う数nmの厚みのバインダー観察が困難顔料が露出していると誤認識する危険あり
最適加速電圧：
試料内への電子線侵入深さを数nmに制限しインク内の顔料を覆うバインダーの表面観察に成功
適用分野
・試料極表面の異物・析出物の観察・解析
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶粒径分布解析
・積層構造材料の断面観察および組成分布解析 等