6試験評価技術／微構造解析

T-37

2022

積層構造体の断面SEM観察用試料調製技術

技術のポイント

高度な微構造観察を可能にする試料調整を提供
高精度なだけでなく測定目的に最適な試料調整方法を提案

保有技術

・機械研磨（砥粒種：ダイヤモンド、コロイダルシリカ等）
・凍結割断（液体窒素）
・Arイオンミリング（CP）装置（表面、断面、冷却、大気非曝露）

試料調製対応例

活用／成果例

試料調製の異なるGFRP基板の断面SEM観察比較

Aｒ断面イオンミリング（CP）調製
GFおよび樹脂の分布状態や空隙等が明瞭に観察可能。各相の面積割合や繊維径測定、各種分析に対応可能な平坦な面を取得

凍結割断調製
GFの表面凹凸が観察可能
　

適用分野

・積層構造体の断面SEM観察・解析

・粉末や繊維の断面SEM観察・解析

・後方散乱電子回折（EBSD）用試料調製

・エネルギー分散型X線分析（EDS）用試料調製　等