6試験評価技術 ／ 微構造解析
T-41
2022
先進分析TEM JEM-F200のご紹介
技術のポイント
極低倍から原子レベルまで同一のTEMで微構造観察・元素分析が可能な汎用TEM
装置概要
日本電子（JEOL） JEM-F200
主な仕様
《TEM本体》収差補正器なし
・電子銃：Cold-FE電子銃
・TEM分解能：0.23 nm（構造像）@200 kV
・STEM分解能：0.16 nm@200 kV
・加速電圧： 200 kV、120 kV、80 kV、60 kV
《各種検出器》
・EDS検出器：日本電子 JED-2300 SDD
100 mm2 ×2本 （1.7 sr）
・EDSアナライザー：Thermo Scientific Pathfinder
・カメラ：Gatan Oneview CMOS
・STEM明視野／暗視野検出器、反射電子検出器
適用分野
・TEM／STEM観察全般
・高感度EDS元素分析
・オープンラボ利用、単発の機器利用にも対応