ラマン分光法
（Raman Spectroscopy）

励起光：　　355、488、532、785 nm
回折格子：　2400、1800、600、150 本/mm
検出器：　　電子冷却CCD
波数範囲：　50～18000 cm^-1
偏光測定：　励起、検出側とも0、90°
波数分解能：0.4 cm^-1 以下
空間分解能：1 µm
機能：　　　マッピング、3次元計測、
　　　　　　深さプロファイル

X線光電子分光分析法：XPS
（X-ray Photoelectron Spectroscopy）

励起Ｘ線：Mg、Al、Al-Kα
　　　　　（Max：15 kV、600 W）
分解能：0.5 eV
深さプロファイル測定：Arイオン銃
絶縁物測定：中和銃

フォトルミネッセンス
PL（Photoluminescence）

励起光：450W-Xeランプ
　　　　+ダブルモノクロメータ
励起光：250-900 nm
励起光波長分解能：0.3 nm
検出器：可視域 250-840 nm
　　　　赤外域 　 -1700 nm
発光波長分解能：0.06 nm
　　　　　　　　（@500 nm）

ラマン分光法：
分子･格子振動を測定
①化学結合状態の決定
②結晶多形の決定
③ひずみの検出
④温度依存性の評価
⑤ラマン信号と発光の対応

測定例　SiCの結晶多形・歪発生のマッピング

XPS：
光電子を測定
①物質表面の組成
②化学結合状態の評価

測定例　発光する籾殻の結合状態

Y. Ishikawa et al., Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 1AK02

PL：
発光強度を測定
①紫外－赤外域の発光スペクトル
②励起スペクトル

測定例　メソポーラスカーボンシリカの
　　　　PLスペクトル

K. Sato et al., Jpn. J. Appl. Phys., 51 (2012) 082402.