5構造特性
T-32
2023
高温環境下における残留応力評価技術
技術のポイント
残留応力を有する材料の昇温による応力緩和の様子や熱膨張差を持つ膜／基板の高温環境下での膜の応力を評価可能
保有装置／技術
仕様
Ｘ線出力 ：45 kV、40 mA
制御温度 ：R.T.～1200 ℃
試料加熱 ：間接加熱方式
ヒーター ：W（タングステン）
温度測定 ：Pt 10 % RhPt熱電対
最大圧力 ：大気圧+1 bar
試料台 ： Al2O3
試料サイズ ：最大φ16×2 mm程度
試料雰囲気 ：真空（10-4 mbar）、大気、不活性ガス（N2、Ar）
活用／成果例
Mo基板上にAD法にて成膜したAl2O3膜の高温残留応力測定結果
測定条件：Al2O3（1 0 -1 10）ピーク（2θ=76.84°）を使用
測定温度：R.T.、400 ℃、800 ℃、1000 ℃
成膜時には圧縮残留応力が確認された
AD-Al2O3膜は1000 ℃まで昇温することで残留応力が緩和する様子を確認
適用分野
・遮熱・耐熱コーティング材料
・断熱膜