6微構造解析
T-38
2023
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FIB-SEMを用いた3次元構築
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技術のポイント
FIB-SEM像と最新材料科学向けソフトウェアAvizoとの連携による高精度3次元情報の提供
手法概要と解析事例
![](t23img/t38a.jpg)
![](t23img/t38b.jpg)
SEM像のコントラストから3次元化
最大50 μm角領域に対応
他の手法と組み合わせてマルチスケール評価
SOFCモデル電極の3次元解析事例
![](t23img/t38c.jpg)
LiMn2O4粒子の3次元解析事例
![](t23img/t38d.jpg)
SOEC長期評価(3,000時間)後試料の3次元解析事例
![](t23img/t38e.jpg)
謝 辞:本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)からの委託業務「水素利用等先導研究開発事業/水電解技術高度化のための基盤技術研究開発/高温水蒸気電解技術の研究開発」(2018年度~2022年度)で実施されたものです。
◆ 最新ソフトウェアAvizo 2022.2で様々なパラメータを抽出
体積、表面積、界面の面積/長さ、空隙の数、平均径、分布 etc
適用分野
・電池材料、粉末、各種焼結体における構造、体積、表面積、空隙、空隙のつながり、粒子径などの3次元評価