6微構造解析

T-38

2023

FIB-SEMを用いた3次元構築

技術のポイント

FIB-SEM像と最新材料科学向けソフトウェアAvizoとの連携による高精度3次元情報の提供

手法概要と解析事例

SEM像のコントラストから３次元化
最大50 μm角領域に対応
他の手法と組み合わせてマルチスケール評価

謝　辞：本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）からの委託業務「水素利用等先導研究開発事業／水電解技術高度化のための基盤技術研究開発／高温水蒸気電解技術の研究開発」（2018年度～2022年度）で実施されたものです。

◆ 最新ソフトウェアAvizo 2022.2で様々なパラメータを抽出
体積、表面積、界面の面積／長さ、空隙の数、平均径、分布 etc

適用分野

・電池材料、粉末、各種焼結体における構造、体積、表面積、空隙、空隙のつながり、粒子径などの3次元評価