2014-5

X線回折による結晶相同定

高出力X線源(15kW)により、結晶相を同定し、格子定数を測定
～薄膜試料への対応も可能～

XRD (X-ray diffraction method)高出力型、汎用型の2台

共通仕様

ターゲット：Cu(λ=1.5418nm)
光学系：集中法, 縦型ゴニオメータ
走査軸：2θ/θ, 2θ,θ
測定方式：連続, FT, FC

2θ角走査範囲：2～146°
スリット：可変式(0.05°～open)
サンプリング幅：0.002～85°
スキャンスピード：0.001～23.9°/min

高出力型

汎用型

メーカー,型式：リガク, RINT2500
最大定格出力：18kW (60kV-300mA)
対応可能試料形態（最大寸法）：
　　　　　粉末, バルク（15×17×10mm）

メーカー,型式：リガク, RINT2000
最大定格出力：3kW (50kV-60mA)
対応可能試料形態（最大寸法）：粉末, 薄膜(直径38mm)
　　　　　　　　　　　バルク（直径38mm 厚さ10mm）
その他：試料の回転、極点測定可

《測定対象は中央部幅10mm×1mm程度》

回折線の回折角と強度を測定
?結晶層の定性　?結晶構造　?化学形態

測定例1　高出力測定

・同一サンプルでXRDパターンを比較
・高出力X線源 → 回折X線強度向上 → 微量成分定性可能

測定例2　薄膜測定 (X線出力: 40kV-40mA)

・試料：金(Au)蒸着膜（厚さ20nm、基材：窒化ケイ素〔β-Si3N4〕)
・通常光学系（上側）：基材のピークに薄膜のピーク埋没
・薄膜専用光学系（下側）：薄膜のピークが主、基材ピーク微小

・セラミックス、金属等無機材料全般の評価
・各種構造および分離膜、電池等機能性材料の開発