R-18
2018

EBSD法を用いた高温超電導層の結晶方位解析

EBSD法により酸化物高温超電導線材の結晶配向評価を実施する上での課題
⇒金属テープ基板上に形成されたセラミックス多層膜の断面加工法

・加速電圧6 kVのArイオンビームを用いて断面加工
・断面加工領域を加速電圧1 kVのArイオンビームにより仕上げ加工

(1)	加速電圧6 kVのArイオンビームにより、超電導線材断面を平坦に加工し、中間層であるCeO₂層からの鮮明なEBSDパターンを得ることができた
(2)	加速電圧1kVのArイオンビームを用いて加工断面を仕上げ加工し、酸化物高温超電導層（ EuBa₂Cu₃O_y ）層からも鮮明なEBSDパターンが得られた。この断面加工手順によりEuBa₂Cu₃O_y層を構成する結晶の方位を定量的に評価することが可能である

評価サンプル：	Hastelloy^TMテープ上にレーザ蒸着法により形成されたEuBa₂Cu₃O_y超電導線材
	中間層は、CeO₂/LaMnO₃/MgO/Y₂O₃/Gd-Zr-O多層膜

・Arイオンビーム：6 kV	・Arイオンビーム：6 kVから1 kV（仕上げ）

様々な多層膜材料の結晶方位解析および結晶配向の定量的な評価

未来社会を創出する革新材料開発と先端解析技術