R-28
2018

静電噴霧を用いたナノ粒子の高密度集積化技術の開発

・積層セラミックスコンデンサ（MLCC）の開発要求→ 超小型化・高性能化・高集積化
・キューブ形状のBaTiO₃ナノ粒子→ 単結晶を超える巨大な誘電特性
・産業利用するためには集積デバイス化技術の開発が必要

・微小液滴を用いたナノ粒子供給技術
・溶媒蒸発時の毛管収縮を利用した高密度化技術
⇒静電噴霧を利用したBaTiO₃ナノ粒子の集積化技術の開発

・基材への電圧印加なし→ みかけ粒子密度：約79 ％の不規則配列
・基材への電圧印加あり→ みかけ粒子密度：約96 ％の規則配列
　　　静電噴霧法と基材への電圧印加によるナノ粒子の高密度集積化に成功

高密度ナノ粒子充填プロセス、微小電子デバイス作製技術、ナノ粒子成膜プロセス

謝辞

：

本研究は、JSTの研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP）「セラミックスの高機能化と製造プロセス革新」の支援により実施した

未来社会を創出する革新材料開発と先端解析技術