R-31
2018

分離膜用非対称型多孔質基材の開発

・CVDによる多孔質基材上への成膜は基材特性に大きく依存
・分離コスト低減には高透過率化、大口径化、長尺化が不可欠
・基材の透過率、細孔径、気孔率、表面欠陥低減、高機械的強度を両立することが必要

・多孔質基材の非対称型化及び構造最適化
・縦型焼成炉の3ゾーン化、4面ヒーターによる炉内温度分布を縮小化
・長尺基材の縦置き焼成

・長尺基材の反りを抑制
・非対称層による対称型基材表面の欠陥修復、細孔径の絞り込み
・成膜性、分離特性と基材構造をリンクすることにより、基材構造の最適化を実現

非対称型基材の構造

縦型電気炉

焼成後の長尺多孔質基材外観

ガス分離用多孔質基材、液体分離用多孔質基材、ナノバブル発生用多孔質基材

謝辞

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本研究は、NEDO 「二酸化炭素原料化基幹化学品製造プロセス技術開発」にて実施したものである

未来社会を創出する革新材料開発と先端解析技術