T-5
2018

電子ビームPVDによるコーティング技術

電子ビームPVD（国内唯一の大型装置）により、様々な基材に高速でセラミックスコーティングが可能

電子ビームPVD装置

電子ビーム（EB）-PVDは蒸着原料を電子ビームで直接加熱･蒸
発させることにより、従来技術では困難であった高融点セラミック
スの高速成膜が可能なコーティング方法

電子ビームPVD装置

①	ジルコニア等の高融点酸化物セラミックスを 1分間に数μmの堆積速度でコーティングできる
②	成膜パラメータを精密に制御することにより膜厚や構造を精密に制御できる

EB-PVDによるYSZ膜の構造制御
（a）緻密膜、（b）柱状・羽毛状構造膜

EB-PVDによる遮熱コーティング(TBC)システム

・耐熱･耐環境分野：ガスタービン用遮熱コーティング
・高温機能性分野：電極、触媒、センサー
・その他：透明導電膜、光学膜、半導体膜