T-31
2018

超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた低加速観察・分析技術

低加速電圧＆無蒸着にて、観察や元素分析を行うことで高加速電圧では得られなかった情報の取得が可能

インレンズショットキーPlus FE-SEM
JSM-7800F PRIME（日本電子製）

・長焦点観察モード

・搭載分析検出器：EDS（元素分析）、EBSD（結晶方位解析）

コールドFE-SEM SU8000（日立製）

・搭載分析検出器：EDS（元素分析）

目的に合った調製および装置、条件にて観察、分析を実施

インクの表面SEM観察

加速電圧が高くなると、最表面情報が埋没し、
インク内に分散する顔料（～20nm粒子）を覆う
樹脂成分が観察できなくなる。そのため顔料が
観察しやすくなる

観察対象がインク表面なのか、
分散する顔料なのかによって
観察条件を最適化する必要がある

・試料極表面の異物・析出物の観察・解析
・非導電性材料の表面微細構造観察
・結晶粒径分布解析
・積層構造材料の断面観察および組成分布解析など