T-32
2018

積層構造体の断面SEM観察用試料調製技術

積層構造体の断面SEM観察を行う際、観察目的や分析内容によって最適な試料調製法および条件を選択

・機械研磨（砥粒種：ダイヤモンド、コロイダルシリカ等）
・凍結割断（液体窒素）
・Arイオンミリング（CP）装置（表面、断面、冷却、大気非曝露）

試料調製対応表

GFRP基板の断面SEM観察結果
Aｒ断面イオンミリング(CP)調製	凍結割断調製
GFおよび樹脂の分布状態や空隙等が明瞭に観察可能。各相の面積割合や繊維径測定、各種分析に対応可能な平坦な面を取得	GFの表面凹凸が観察可能

・積層構造体の断面SEM観察・解析
・粉末や繊維の断面SEM観察・解析
・後方散乱電子回折(EBSD)用試料調製
・エネルギー分散型X線分析(EDS)用試料調製など