2018年度

JFCC研究成果集

未来社会を創出する革新材料開発と先端解析技術

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T-34
2018

デュアルビームFIB-SEM装置を用いた三次元解析技術


技術のポイント

FIBによるスライス加工とSEMによる断面観察を連続的に行い取得した多数のSEM像をコンピュータで三次元再構成



FIB-SEM三次元解析
数100枚のスライスSEM像から三次元構造可視化



適用分野
試験評価もお受けします
<ご参考価格>

材料内部構造の三次元解析
 ・焼結体、積層構造体
 ・電池材料、センサー材料
 ・原料粉末     など
加工条件検討  ¥100,000〜150,000
スライス像取得  ¥200,000 /100枚 ※数量割引有
3D画像構築  ¥80,000〜¥150,000 ※内容に依る
例) 焼結体で100枚スライス+空隙分布を3D構築:50万円程度

謝辞: 事例1および2に示す結果は、高温超電導コイル基盤技術開発プロジェクトの一環として経済産業省の委託、事例3に示す結果は革新型蓄電池先端科学基礎研究事業(RISING)の一環としてNEDOの委託により実施したものである



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