2019年度

JFCC研究成果集

新時代の扉を開く革新的・材料開発/解析技術

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T-20
2019

電気抵抗評価技術


技術のポイント

被測定物の抵抗値により測定方法を2種類から選択
高温(〜1200℃)及び各種雰囲気での測定が可能



測定方法

測定方法 測定範囲 試料形状
サイズ
測定温度範囲
測定雰囲気
関連規格
直流
3端子法
体積抵抗率106〜1017Ωcm
表面抵抗率105〜1016Ω
Φ20mm、t=1〜3mm
□63.5〜100mm、t=〜5mm
※室温のみ
R.T.〜1200℃
Air,N2,Ar
JIS C2141
JIS C2319
JEC 6148
ASTM D257
直流
4端子法
10-6〜106Ωcm □3〜5mm, Φ3〜5mm
長さ25〜40mm
R.T.〜1200℃
Air,N2,Ar,H2
JIS R1661
ASTM D991


直流3端子法
3端子法による抵抗率測定例

直流4端子法
4端子法による抵抗率測定例


適用分野

酸化物および非酸化物系セラミックス基板材料や電極材料、電解質材料等の絶縁性および導電性評価(開発品の物性評価、製品の品質管理など)



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