2019年度
新時代の扉を開く革新的・材料開発／解析技術
T-28
2019 |
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化学結合状態・構造・光学的特性の多面的評価を通じて新規材料の開発に貢献 |
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ラマン分光法
(Raman Spectroscopy) |
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X線光電子分光分析法:XPS
(X-ray Photoelectron Spectroscopy) |
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フォトルミネッセンス
PL (Photoluminescence) |
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| 励起光 |
: |
355, 488, 532, 785 nm |
| 回折格子 |
: |
2400, 1800, 600, 150 本/mm |
| 検出器 |
: |
電子冷却CCD |
| 波数範囲 |
: |
50 ～ 18,000 cm-1 |
| 偏光測定 |
: |
励起, 検出側とも0°, 90° |
| 波数分解能 |
: |
0.4 cm-1 以下 |
| 空間分解能 |
: |
1μm |
| 機能 |
: |
マッピング, 3次元計測,
深さプロファイル |
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| 励起X線 |
: |
Mg, Al, Al-Kα
(max:15kV, 600W) |
| 分解能 |
: |
0.5eV |
| 深さプロファイル測定 : Arイオン銃 |
| 絶縁物測定 |
: |
中和銃 |
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| 励起光 |
: |
450W-Xeランプ
+ ダブルモノクロメータ |
| 励起光 |
: |
250-900nm |
| 励起光波長分解能 : 0.3nm |
| 検出器 |
: |
可視域 250-840nm
赤外域 -1700nm |
| 発光波長分解能 : 0.06nm (@ 500nm) |
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ラマン分光法：
分子･格子振動を測定
① 化学結合状態の決定
② 結晶多形の決定
③ ひずみの検出
④ 温度依存性の評価
⑤ ラマン信号と発光の対応 |
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XPS：
光電子を測定
① 物質表面の組成
② 化学結合状態の評価 |
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| Y. Ishikawa et al., Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 1AK02 |
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PL：
発光強度を測定
① 紫外－赤外域の発光スペクトル
② 励起スペクトル |
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測定例 メソポーラスカーボンシリカの
PLスペクトル |
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| K. Sato et al., Jpn. J. Appl. Phys., 51 (2012) 082402. |
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| ・電子機能材料開発 |
：ワイドギャップ半導体（SiC、ダイヤ、GaN）
カーボン材料（電極、フィラー等）、
透明導電膜 |
| ・光学材料開発 |
：発光材料 |
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