2研究成果／高性能パワーデバイス

R-9

2022

実験室系XRDによる単結晶基板結晶面湾曲の3D可視化技術

アピールポイント

実験室系XRDで結晶面湾曲を非破壊・非接触で3D可視化
【技術シーズ：結晶面湾曲を3D可視化するアルゴリズム】

課題

・半導体単結晶基板における結晶面湾曲の低減が課題

・非破壊・非接触で結晶面湾曲を3D可視化する技術の開発が必要

解決手段

・実験室系XRDを用い、結晶面法線ベクトルの二次元分布を取得

・上記二次元分布を基準点から積分することで、結晶面湾曲の3D像を構築

成果・新規性

・半導体単結晶基板の結晶面湾曲を3D可視化するアルゴリズムの確立

・結晶の成長方法や加工方法による結晶面湾曲の違いの3D定量評価手法の確立

・実験方法：PANalytical Empyrean X線回折装置

・評価事例：SiC、GaN、Ga₂O₃、AlN基板

期待される市場・応用

・単結晶基板の結晶成長技術の開発

・単結晶基板のプロセス・加工技術の開発

発表文献

Y. Yao et al., J. Cryst. Growth 576 (2021) 126376 & 583 (2022) 126558
Y. Yao et al., Jpn. J. Appl. Phys. 60 (2021) 128004

謝　辞：本研究の一部は、NEDO未踏チャレンジ2050で実施されたものである。