光・電子素子用の薄膜の合成および解析技術の開発を行っています。また、携帯情報機器などIT分野用の高周波誘電体・電波吸収体・圧電体の材料開発および特性評価技術の開発・標準化を行っています。

2012年度 研究成果

2012-1	希土類フリーのメソポーラス発光色制御材料の開発
	メソポーラスカーボンシリカの合成プロセス時の触媒濃度制御による発光特性の制御

2011年度 研究成果

2011-1	次世代パワーデバイス用SiCの欠陥検出法の開発
	SiC単結晶基板・エピ膜の容易で正確な欠陥検出法、および欠陥挙動の評価・解析技術を開発
2011-2	シリコンの酸炭化物からなる白色発光材料の開発
	空孔を有する炭素含有シリカの適切な熱処理による 白色発光機能の付加
2011-3	熱線反射のためのZnO透明導電膜への効果的なAl添加
	ZnO：Al透明導電膜の熱線（近赤外光）反射性を高めるために多元反応性スパッタリングによりAlを効果的に添加
2011-4	希土類フリーメソポーラスカーボンシリカ発光材料の開発
	三成分共組織化法によるメソポーラスカーボンシリカの合成とその発光特性の解析