機能性材料グループ

創エネ・省エネを支える分離膜開発と次世代半導体の解析・評価

　１）分子サイズに合わせて細孔径を制御することで高選択かつ高効率でガスを分離する膜合成技術と２）高性能次世代パワーデバイス用新材料であるワイドバンドギャップ半導体の結晶性を高精度かつ短時間で評価解析する技術を研究しています。

　１）の分離膜では光触媒による水分解によって生成したH₂とO₂を安全且つ高効率で分離するための膜開発、２）の半導体評価解析ではエッチング・回折（Ｘ線・電子）・分光（発光・ラマン）を利用し、欠陥－特に転位－を結晶全面で簡易に検出・分類する技術を開発しています。